2021/05/31 10:06
信越化学KrFフォトレジスト、供給停滞に中国半導体メーカー苦慮
信越化学工業(4063/東証)による中国半導体企業向けフッ化クリプトン(KrF)露光装置用フォトレジストの供給に滞りが出ているもようだ。一部の中小半導体企業は、同社からの供給が停止した。東京応化工業…
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