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2022/01/24 11:51

EUV露光装置、中国の独自開発は困難=ASML  会員限定

 極端紫外線(EUV)露光装置を世界で唯一供給する、蘭設備メーカーASMLのピーター・ヴェンニク最高経営責任者(CEO)は19日、中国が独自に最高レベルの露光技術を複製できる可能性は低いと指摘した。そ…

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