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2022/03/08 15:28

中国:晶盛機電がダイヤ製造機開発、ハイエンド半導体素材に  会員限定

 半導体製造装置メーカーの浙江晶盛機電(300316/SZ)がダイヤモンド製造機「XJL200A」を新たに開発した。マイクロ波プラズマ化学蒸着(MPCVD)法を採用し、全自動で半導体新素材のダイヤモン…

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