2019/01/17 15:04
中国の江蘇南大光電材料、IC製造向け「ArF用フォトレジスト」生産へ
中国の中堅企業が半導体(IC)製造向け化学剤、材料の生産に乗り出す計画だ。電子デバイス材料メーカーの江蘇南大光電材料(300346/SZ)はこのほど、ArF(フッ化アルゴン)エキシマレーザー露光用の…
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