2018/12/18 16:12
中国AMECの5nmエッチング装置、ICファウンドリ世界最大手の認証取得
ICファウンドリ(受託生産)生産最大手の台湾企業に対し、中国の半導体製造装置メーカーが世界最先端の装置を納入する。中微半導体設備上海有限公司(AMEC)はこのほど、自社開発のイオンエッチング装置が台…
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