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2021/01/22 15:21

中国:晶瑞化学がASML液浸露光装置を調達、28nm素材研究へ  会員限定

 電子材料用高純度化学品メーカーの蘇州晶瑞化学(SCCC:300655/SZ)は19日、蘭ASML製の中古ArF液浸露光装置「XT 1900Gi」の購入記念式典を行った。2007年に出荷が始まった、中…

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