/ 詳細
検索 (期間指定)
期間
亜州リサーチFacebook公式ページ 亜州リサーチYoutube公式チャンネル

2021/10/14 10:55

中国:半導体ガスの金宏気体、酸化膜材料TEOS試験生産  会員限定

 半導体用材料ガスの蘇州金宏気体(688106/SH)はこのほど、高純度液体材料のテトラエトキシラン(TEOS)の試験生産に成功した。TEOSは減圧CVD法やプラズマCVD法による酸化膜形成に使用され…

会員限定 記事をさらに読むにはログインして下さい。

この記事は購読ご契約済のお客様のみがご覧になれます。
ご契約済のお客様は、お手数ですがログインしてからご覧ください。
まだ契約されていない方は、以下から購読契約にお進みください。

ログイン

関連ニュース同じカテゴリーのニュース