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2021/10/14 10:55

中国:半導体ガスの金宏気体、酸化膜材料TEOS試験生産  会員限定

 半導体用材料ガスの蘇州金宏気体(688106/SH)はこのほど、高純度液体材料のテトラエトキシラン(TEOS)の試験生産に成功した。TEOSは減圧CVD法やプラズマCVD法による酸化膜形成に使用され…

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