2021/06/10 12:48
中国:半導体製造装置AMEC、100台目ICPエッチング装置納入
半導体製造装置メーカー中国大手の中微半導体設備上海(AMEC:688012/SH)は9日、自社開発したプラズマエッチング装置「Primo nanova」の100台目を納入したと発表した。
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