2022/08/18 13:44
中国:8インチN型SiC基板、半導体装置JSGが開発成功
半導体製造装置中国大手の浙江晶盛機電(JSG、300316/SZ)はこのほど、8インチN型炭化ケイ素(SiC)基板の生産に初めて成功した。直径214ミリメートル(mm)、厚さ25mmで、JSGのSi…
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