カテゴリー別ニュース
2020/07/03 18:15
中国：CETGC傘下の電科装備、「高エネルギーイオン注入装置」開発 
中国企業が半導体デバイス製造向けの「高エネルギーイオン注入装置」を開発した。中国電子科技集団有限公司（CETGC）傘下の中電科電子装備集団有限公司（電科装備）が研究を重ねて製品化。加速電圧100万電…
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