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2021/09/10 16:07

中国:先鋒半導体、5nmエッチング装置スプレー部品開発  会員限定

 半導体装置用精密部品の靖江先鋒半導体科技(スプリント・プレシジョン・テクノロジーズ)はこのほど、5ナノメートル(nm)プロセスIC製造に使用するエッチング装置のスプレー部品を開発した。この部品を採用…

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