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2024/09/17 14:08

中国の国産DUV露光装置、65nm以下の半導体生産に対応  会員限定

 工業和信息化部(工業情報化部)が9月初めに発表した「重要技術設備の初回(セット)普及・応用のための指導目録(2024年版)」には、65ナノメートル(nm)以下の半導体生産に使用できる国産深紫外光(D…

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